斯科维尔半导体
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电话:+86-21-54396099
邮箱:info@h-square.cn
货号:WS200
产品 

描述 

WS200 - 自动单晶圆转移和晶圆分拣机
三种可用模式:
• 快速传输模式
• 配方模式
• 手动模式
具有双盒式基座配置的独立桌面自动化系统,与 SEMI 标准运输、工艺和金属盒兼容。触摸屏界面允许选择自动、自定义配方或手动传输末端执行器专为标准或薄晶圆设计,包括晶圆映射功能。
安全的无真空低接触末端执行器包括一个晶圆映射传感器,用于映射每个料盒中的晶圆位置和检测晶圆存在,实现精确运动。
规格
晶圆尺寸 100-200mm
电源要求 220V转DC24伏特
吞吐量  
   

附加信息

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