斯科维尔半导体
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电话:+86-21-54396099
邮箱:info@h-square.cn
货号:VWSET-C
产品 

描述 

VWSET-C 真空吸笔套件用于处理 200 毫米和更小的薄晶圆。建议室内真空度大于 22" Hg 以获得最佳性能。设计用于 ISO 3 级(FS209E 1 级)
防静电结构,耐化学腐蚀;

套装包括:

  1. T793PKAS3 ESD PEEK 吸笔头
  2. NOASPF2 防静电笔杆
  3. HSU 真空关闭笔座
  4. CTA12 接地装置插座
  5. CC11SDS ESD线圈气管

**需要外部真空源

吸笔头有一个 0.9平方英寸的真空区。当与 22″Hg 真空源一起使用时,具有9磅的理论承载能力。

规格
晶圆尺寸 100-200mm
吸笔头尺寸 长4.5" × 宽1.4"
重量 0.5磅

附加信息

附加信息

装运重量 2磅
装运尺寸 12 × 12 × 6 英寸

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