斯科维尔半导体
斯科维尔半导体
电话:+86-21-54396099
邮箱:info@h-square.cn
货号:AVT
产品 

描述 

桌上型自动双料盒垂直批量晶圆转移工具,AVT是一种可靠性高、维护需求低的工具。通过简单的设计实现先进功能,提供更好的用户体验。安全传感器确保料盒正确装载,保证晶圆传输一致性。
下单时需要指定需要支持的料盒型号

 

 

晶圆接触材料:抗静电聚丙烯和缩醛,高纯度材料,具有良好的耐磨性、耐热性和出色的耐化学腐蚀性。

AVT 的特点:

    • 一次传送 25 个晶圆。
    • 30 秒循环时间。
    • 升降梳由防静电缩醛材料制成。
    • 固定梳由黑色缩醛制成。
规格
晶圆尺寸 76, 100, 150, 200mm
电源要求 220VAC 3 安培 至 24VDC 电源单独出售
吞吐量 每小时 60 盒
重量 40磅

附加信息

附加信息

装运重量 100磅
装运尺寸 28 × 16 × 30 英寸

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