斯科维尔半导体
斯科维尔半导体
电话:+86-21-54396099
邮箱:info@h-square.cn
货号:AFO
产品 

描述 

这款桌面自动 300 毫米FOUP开盒器可在接触 FOUP 内的晶圆时解锁、移除和存放FOUP门。FOUP下方的旋转底座机构允许 360° 旋转,以便把打开的FOUP定位在最符合人体工程学的操作位置。通常安装在FOUP清洗站,用于盒盖的开闭。专为 ISO 等级 3(FS209E 等级 1)设计;抗静电结构。
规格
晶圆尺寸 300mm
电源要求 220VAC 至 24VDC  3 安培  电源单独出售
吞吐量 每小时 90 个 FOUP
重量 60磅

附加信息

附加信息

装运重量 140磅
装运尺寸 16 × 35 × 18 英寸

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