H-Square 的第二代BLIS 解决方案是一个桌面宏观检测站,它利用明亮的白色 3995 流明 LED 灯来检测复杂组件(如半导体晶圆、光掩模和光电组件)上的细微、低对比度缺陷。
杂散光捕获 BLIS 可以轻松添加到生产线中,以便实时检测划痕、缺陷、颗粒和雾度,其准确性和可重复性高于标准环境照明条件下的人工检测员。
4000 色温 LED 照明非常适合需要对高度复杂的机电组件进行宏观检查的应用,用于子组件和最终组件验证,以检测高价值组件中的细微缺陷。 系统包含一个亚 420nm 滤光器,用于光刻领域的宏观检测应用。
额定寿命为 50,000 小时的长寿命光源仅在检测到操作员动作时照亮检查区域。BLIS a可完全调节光强度和检测到箱内无运动后灯保持亮起的时间长度。
H-Square 的 BLIS 18” x 18” x 18” (450mm) 立方体非常适合检测 50-300mm 的晶圆和 4”x4” 到 14”x14” 的光掩模/分划板。
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